Liste der technischen Parameter der optischen Beschichtungsmaschine mehrschichtiger Beschichtungsmaschine

Modell

GX-1050a

GX-800A

GX-900A

GX1200A

Größe des Beschichtungsraums

1050 * 1250304 Edelstahl.

800 * 1000

900 * 1050

1200 * 1250

Beschichtete Hohlraumgröße

Fixvorstellungsunterstützung vom Boden 1680 mm, geeignet für den Betrieb der menschlichen Ingenieurwesen.

Fixvorstellungsunterstützung vom Boden 1468 mm, geeignet für den Betrieb der Human Engineering.

Feelcture -Unterstützung vom Boden 1510 mm, geeignet für den Betrieb der menschlichen Ingenieurwesen.

1 Bogen -Einzelarbeitsstück in größerem Maße, um den Bedürfnissen der Kunden nach Einheitlichkeit zu erfüllen. Drehung von 5-30R/min, schrittlose Geschwindigkeitsänderung.

2 Werkstücktafel Typ Drei, die Rotation des Planeten, in größerem Maße, um die Bedürfnisse der Kunden an der Produktion zu erfüllen. Drehung von 5-30R/min, schrittlose Geschwindigkeitsänderung.

Werkzeuganlagen

Für vier Teile ist der Klammerwinkel in größerem Maße einstellbar, um die Einheitlichkeit der Kundenbedürfnisse zu erfüllen. Drehung von 5-30R/min, schrittlose Geschwindigkeitsänderung.

Einen Arbeitenstück vom Typ Bogen in größerem Maße, um den Bedürfnissen der Kunden nach Einheitlichkeit zu erfüllen. Drehung von 5-30R/min, schrittlose Geschwindigkeitsänderung.

Einen Arbeitenstück vom Typ Bogen in größerem Maße, um den Bedürfnissen der Kunden nach Einheitlichkeit zu erfüllen. Drehung von 5-30R/min, schrittlose Geschwindigkeitsänderung.

Vakuumsystem

Einheit: Diffusionspumpe DIP-12000 (LAI BAO), ZJY-300 2x-70-Wurzelpumpe, mechanische Pumpe, Pumpenwartung 2x-8. Rohr für 304 Edelstahl.

Einheit: Diffusionspumpe KT-400 (Zhen Hua), ZJY-150 2x-70-Wurzelpumpe, mechanische Pumpe, Pumpenwartung 2x-8.

Einheit: Diffusionspumpe KT-600 (Zhen Hua), ZJY-600 2x-70-Wurzelpumpe, mechanische Pumpe, Pumpenwartung 2x-8.

Einheit: Diffusionspumpe KT-800 (Zhen Hua), ZJY-600 2x-70-Wurzelpumpe, mechanische Pumpe, Pumpenwartung 2x-8.

Ultimate Vakuum: Besser als 4 x Pa 10-4.

Konfiguration von Anti -Turbulenzgeräten, Sicherheitsverriegelungsdesign, Handbuch, automatisch optional.

Heizsystem

Heizrohr im Heizmodus, PID -Steuerung, die höchste 350 c + 1,5.

Gasinflation

Gasmassenströmungsregelinstrument oder manuelles Ladeventil feinem Einstellungsventil.

Vakuumionisationsbombardierung

DC 3KV, 06KW Stabkathode (zum Beschichten vor der Selbstreinigung des Werkstücks).

Verdunstungsquelle (optional)

1 Telemark-270-Elektronenpistole (Import), 6 kW, Hochdruck 4KV-10KV einstellbar. Scannen, Scannen, kreisförmiges Scannen und Spiralcannen. Der Fokus des Strahlflecks ist gut, die Positionierungsgenauigkeit ist hoch und die Reproduzierbarkeit ist gut.

2 Haushaltselektronenpistole (Zhen Hua): 6 kW, Hochdruck 4 kV ~ 8 kV einstellbar, kann frei Dreieckswellen, Sinuswellen, Quadratwellenscanning wählen.

3: Sechs Loch Crucible PHI 38 * 20 oder vier Loch Crucible PHI 38 * 20 plus ein 87 -Punkte -Zentrum -Lichtbogen -Tiegel (für eine große Menge an niedrigem Schmelzpunktverdampfmaterial) oder vier Punkte mit 48 x 18 Tiegel.

Ionenquelle (optional)

1 RF (Funkfrequenz) Ionenquelle (Import).

2 5KVA -Holzer -Quelle (Zhen Huachan), die zur Elektroplatte vor dem Reinigen oder der Plattierungsprozess zur Unterstützung verwendet wird, ist förderlich, um den Film -Brechungsindex, die Festigkeit zu verbessern, die Filmdichte, die Haftung zu verbessern.

Filmdickensteuerungssystem (Auswahl)

1.MDC-360 Crystal Control Device (importiert) kann 1 ~ 99 Schicht automatischer Beschichtungsprozess, 99 Arten von Programmdaten, Genauigkeit von 0,5%+1 fester Fehler speichern. 2Telemark-880 Crystal Control Device (importiert): Kann 1 bis 99 Schichten des automatischen Beschichtungsprozesses, 99 Arten von Programmdaten speichern. Präzision 0,5%+1 Fehlerer Fehler.

3.Telemark-820 Photocontroller (Import): Volles Spektrumende mit einer Multi-Wellenlängen-Analysetechnologie durch die Übertragung der Überwachung der Kurvenanalyse von 370-870 mm (oder Reflexion), um das Ende des Films zu bestimmen. Die Kontrollgenauigkeit ist hoch, und die Länge der Einzelwellenlänge, die automatische Steuerung und die manuelle Steuerung können verwendet werden. Zusätzliche Software zur Berechnung der Macilod -Membransysteme, hoher Integrationsgrad.

4. Telemark-820 Light Controller mit Telemark-880-Controller kann den Kristallfilm mit hoher Genauigkeit und hohen Anforderungen an Wiederholbarkeit erfüllen. Mit dem Host -Computer kann die automatische Steuerung realisieren.

5 Hausokontroller (z. B. Typ 9704, der die Monochromatorwellenlänge 330 ~ 870 usw. unterstützt) einstellbar, Präzision kann 1,5 nm erreichen.

Handbetriebene Gerät

Mit magnetischer Basis kann in der vakuumischen Kammertür und in der willkürlichen Position der Schaltkabine platziert werden.